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真空镀膜技术中常见的几种真空泵
真空泵分类液环泵，它属于粗真空泵，但是在中国石油、化工、电力、纺织、造纸、医等领域的市场是非常大的，其销量占整个真空泵市场的14%，只在干式泵之后。柱塞泵，滑阀泵是耐用安全的，所以国内外各类真空炉、镀膜机、干燥、浸渍等设备都采用滑阀泵作为前级泵。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
罗茨泵可能存在哪些常见故障?
罗茨泵的启动压力太高，造成泵的机件过热而受损（有些机械增压泵经特殊设计后，也可以在大气压下启动）。在生产工艺中产生的较大的磨耗性粒子进入罗茨泵内部造成机件磨损。泵的安放位置不对，例如：倾斜置放。泵内的润滑油的油量不适合。
罗茨水环泵出现故障的原因也有可能是被抽容器或者管道密封没有处理好出现漏气的现象，这时应该检查容器及管道的密封并排除漏气现象。
泵腔内有异物，一般反转就能取出异物，正反都不能转的话只有将泵拆开，千万不要强制转动，罗茨泵两个转子间隙很小，强行转动会对泵有损坏。齿轮卡住了，要将电机对面一头的盖子拆下维修。轴承卡住了，要将两头的轴承拆下清洗。
什么是罗兹泵
罗茨泵是一种体积式旋转正位移泵，它由两个相互啮合的叶轮（罗茨叶轮）组成。这两个叶轮通过同步齿轮驱动，在泵壳内高速旋转，并且由于叶轮间的间隙很小，泵吸入的气体可以被密封在叶轮间隙内，从而被吸入和压缩。通过连续旋转叶轮，气体被压缩，从而形成气体流动，最终被排放到泵的出口处。
罗茨泵，分皮带传动和齿轮减速器驱动两种形式.此泵具有：低转数、效率高、体积小、流量大、消耗功率小、自吸能力强、不用引油、使用方便等特点。可广泛用于输送石 油及石油产品（汽油可换铜泵叶）和工厂输送各种油类和液体。
罗茨真空泵（简称：罗茨泵）是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。 原理图 一种型号的外形图 它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。
罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵真空设备的一种。
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